輸出流量(ml/min)：

0-510

輸出壓力(MPA)：

0.02-0.7(穩(wěn)壓輸出)

輸出壓力波動(%)：

<0.2

氣體純度(%)：

>99.9995

二次壓力保護(MPA)：

0.76

電源電壓：

220±15% 110±15% 50-60Hz

輸入功率(W)：

<100

外型尺寸 長×寬×高(mm×mm×mm)：

330×155×340

整機重量：

<15

毛重/凈重：

15kg

包裝尺寸：

330×155×340